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WMK 晶圓打標機
在8吋/12吋晶圓上標記識別碼?激光器類型綠光納秒固體激光器?技術規格晶圓尺寸?8”~12”最小芯片尺寸?0.2x0.2mm最小打標尺寸?30x30um激光打標深度?3um加工精度??CPK>1.67@tolerance?±50um物料進出晶舟盒?Wafercassette鐵環提籃?M-ringcassette
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